檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Sheam-Chyun Lin".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="模擬分析"
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爐管為半導體產業常使用的製程設備，其良率為重要之技術指標，因此本研究針對垂直式爐管進行流場數值模擬，評估氣體噴注器的流量對於製程良率所產生的影響，藉由晶圓薄膜厚度之實測比對，找出氣體噴注器的出口流量…
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冷凍空調設備需要長時間的運作，所以效能、效率、壽命、噪音都是評比一台設備好壞的指標性項目，本研究以此論點進行探討，利用套裝模擬軟體進行輔助設計，期望先從理論進行理解並建構出一套高效率的模擬方法；最後…
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爐管為半導體產業經常使用的製程設備，其產能及良率為半導體市場之技術指標，因此本研究提出8吋垂直式爐管之流場數值模擬，評估流場對於氧化製程所產生的影響，再藉由實驗結果的比對，找出流場與良率的相關性，在…